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An Annular Mechanical Temperature Compensation Structure for Gas-Sealed Capacitive Pressure Sensor

机译：气封电容式压力传感器的环形机械温度补偿结构

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Kohei Higuchi; Yonggang Jiang; Kazusuke Maenaka; Hidekuni Takao; Xiuchun Hao;
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年度 2012
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1. An Annular Mechanical Temperature Compensation Structure for Gas-Sealed Capacitive Pressure Sensor [J] . Hidekuni Takao, Kazusuke Maenaka, Kohei Higuchi, Sensors . 2012,第6期

机译：气封电容式压力传感器的环形机械温度补偿结构
2. An analytical thermal-structural model of a gas-sealed capacitive pressure sensor with a mechanical temperature compensation structure [J] . Xiuchun Hao, Kazusuke Maenaka, Hidekuni Takao, Sensors and Actuators, A. Physical . 2014,第Null期

机译：具有机械温度补偿结构的气密电容式压力传感器的解析热结构模型
3. The Mechanical and Electrical Effects of MEMS Capacitive Pressure Sensor Based 3C-SiC for Extreme Temperature [J] . Marsi N., Majlis B. Y., Hamzah A. A., Journal of Engineering . 2014,第1期

机译：基于3C-SiC的MEMS电容式压力传感器在极端温度下的机电效应
4. Zero temperature coefficient gas-sealed pressure sensor using mechanical temperature compensation [C] . Hao X.C., Jiang Y.G., Takao H., The 16th International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems . 2011

机译：采用机械温度补偿的零温度系数气体密封压力传感器
5. Robust micromachined capacitive pressure sensors for mechanically harsh environments. [D] . Chang, Sung Pil. 2002

机译：坚固的微机械电容式压力传感器，适用于机械恶劣的环境。
6. An Annular Mechanical Temperature Compensation Structure for Gas-Sealed Capacitive Pressure Sensor [O] . Xiuchun Hao, Yonggang Jiang, Hidekuni Takao, 2012

机译：气封电容式压力传感器的环形机械温度补偿结构
7. An Annular Mechanical Temperature Compensation Structure for Gas-Sealed Capacitive Pressure Sensor [O] . Kohei Higuchi, Yonggang Jiang, Kazusuke Maenaka, 2012

机译：气密式电容式压力传感器的环形机械温度补偿结构
8. Novel High Temperature Capacitive Pressure Sensor Utilizing SiC Integrated Circuit Twin Ring Oscillators. [R] . Scardelletti, M., Neudeck, P., Spry, D., 2017

机译：采用siC集成电路双环振荡器的新型高温电容式压力传感器。

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